高純硅和電子硅的產(chǎn)生

在國外，高純硅和電子硅是由工業(yè)硅經(jīng)氣轉(zhuǎn)液沉積法、硅烷空心硅管沉積法，定向結(jié)晶或加熱工業(yè)硅1 400度氯化成三氯氫硅，通過物理和化學還原方法才能得到產(chǎn)品。生產(chǎn)過程中需要消耗大量的電力及純凈水，傳統(tǒng)生產(chǎn)工藝平均每噸高純硅的電耗在58 000 kWh，每噸多晶硅的電耗在337 500 kWh，另外由于加入的含氯化學合成劑以及對三氯氫硅的回收過程中會對環(huán)境造成一定的污染。本項目中所涉及的提純技術(shù)對電力消耗只是傳統(tǒng)提純方法的十分之一，由于添加的催化劑無毒、無腐蝕作用，并可以回收反復利用，對環(huán)境不造成任何影響。通過使用高純硅粉生產(chǎn)多晶硅，可降低多晶硅生產(chǎn)中四分之一電耗，節(jié)能效果明顯。